100级无尘室

无尘室的适用范围很广，只要洁净要求比较高的都会用到。同时在上一次的文章中我们简单地介绍了《无尘车间对模切生产有哪些影响？》，今天我们更进一步地为大家讲述一下无尘室等级分类及应用标准。
01
无尘室的等级说明
依据美国联邦**颁布的标准「Federal Atandard（FS）209E，1992】，可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸是0.5um，无尘室等级应以特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10级在0.2um（尘粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75颗/立方英尺），1级在0.1um（尘粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35颗/立方英尺）。
02
无尘室等级标准
据查询无尘室等级标准的版本较多，于是小编就整理两个较常用的划分标准，分别是国际标准 IOS14644-1、中国标准 GB/T16292-1996，具体详情请看下表：


空气洁净度分级标准：IOS14644-1（国际标准）


03
无尘室标准分类


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乱流式(Turbulent Flow)：


空气由空调箱经风管与无尘车间内的空气过滤器(HEPA)进入无尘室，并由无尘车间两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于无尘室等级为1,000-100,000级的。


优点：构造简单、系统建造成本低，无尘室扩充比较*，在某些特殊用途场所可并用无尘工作台，提高无尘车间等级。


缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染产品。另外若系统停止运转再激活，欲达要求的洁净度，需耗时相当长一段时间。


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层流式(Laminar)：


层流式空气气流运动成均匀的直线形，空气由覆盖率**的过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于无尘室等级需求较高的环境使用，一般其无尘室等级为Class 1~100。


其型式可分为二种：
▶无尘车间水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁的回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般下流侧污染较严重。


优点：构造简单，运转后短时间内即可变稳定。


缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。


▶无尘车间垂直层流式：房间天花板完全用ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可获得较高的洁净度，在生产中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外并不会影响其它工作区域。


优点：管理*，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易受作业状态或作业人员所影响。

缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板的吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。
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复合式(Mixed Type)：


复合式是将乱流式及层流式予以复合并用，可提供局部**洁净空气。


无尘车间洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将生产区域或工作区域**覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员的工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，**大规模集成电路生产大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点：弹性扩充*、维修设备时可在维修区轻易执行。


无尘车间洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量的送风即可得到良好的洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线较适宜使用。药品、食品及半导体均适用。


无尘车间并装局部无尘室(Clean Spot)：将乱流无尘室内的产品生产区的洁净度等级提高为10~1000级以上，为生产用。


04
无尘室的应用标准


若想检验无尘室是否达到应用标准，大家可以先从遮蔽率；风速、温湿度；压差、构成要求这四个方面考虑：


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遮蔽率

Air Change：FFU的表面积*风速*FFU数量/无尘室体积
HEPA遮蔽率：FFU的表面积*FFU数量/无尘室面积


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风速、温湿度


气流速度为：0.3-0.5m/s（60-100ft/min）
一般温度控制范围：T=（21±2）℃
一般湿度控制范围：（45±5）%RH


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压差


在两个无尘室间合理的设计压力差应为10Pa，而在无尘室和未确认洁净等级的区域应保持有15Pa的压力差。当产生这些压力差有实际困难时，维持5Pa的较小压力差是可以接受的。


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构成要求


A.不会因温度变化与振动而发生裂痕
B.不易产生微尘粒子，且很难附着粒子
C.吸湿性小
D.为了维持室内之湿度条件，热绝缘性要高
公司主要从事净化工程咨询、净化工程设计施工(手术室净化、层流手术室、净化手术室、十万级净化车间、无菌实验室以实验台)及配套净化装饰工程的专业公司，专为医药、医院、生物制药GMP净化、精密电子、食品、化学、生物、研究院所及其它高科技尖端行业等领域净化设计施工、测试、维护，并且提供与洁净室相关的材料、设备、监测装置及家具等。河南栀子净化工程有限公司，成立于二零一八年，注册资金五百万元，以“科技为先，以人为本”的经营宗旨；“立足河南，服务全国”的经营理念。公司将秉持初心、 诚信做人、严谨做事、谒诚为广大新老客户提供贴心服务，实实在在专业化的设计施工，为您实现**蓝图。
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无尘室空调洁净化方案的选择
无尘室空调制冷方案
无尘室空调制冷方案应根据供冷要求(耗冷量、供冷方式、冷冻水温等)、工程建设地区的水源情况(水温、水质、水量等)以及电源、热源筹备方而进行技术经济比较。既要求有较好的经济指标，又要考虑当地的可能性。

制冷装置的选用是制冷方案确定过程中的中心环节，制冷装置的主要类型如下。

1、压缩式制冷装置
压缩式制冷装置包括活塞(往复)式、离心式和螺杆式三种。

活塞(往复)压缩式制冷装置的主要设备是活塞式制冷压缩机，常用工质是氨(NH3)、氟利昂—12、22(F—12、22)。这类设备用电动机带动，使用方便，品种多，产品全，能满足各类空调供冷的要求，被广泛采用。但一次投资大，设备费用高，耗电量大，维护管理比较复杂。


离心压缩式制冷装置的主要设备是离心式制冷压缩机，常用工质是氟利昂—11、113、114(F-11、113、114)。该机与活塞式制冷压缩机的原理相同，但它只有回转运动，比活塞式运转平稳，振动小、机件少，常与蒸发器，冷凝器组合为一体，设备紧凑占地面积小。离心式制冷压缩机的制冷量较大，因此只有空调耗冷量较大时，才选用这类设备。


螺杆式压缩制冷装置的主要设备是螺杆式制冷压缩机，常用工质是氟里昂—12、22、 氨(F-12、22、R717)。目前生产的螺杆式制冷压缩机与活塞式相比，虽效率稍低，但由于其结构简单、体积小，吸气系数高、排气温度低、单级压缩比大，对湿行程不敏感，排气脉动小，易损件少，柱修周期长，制冷量可无级调节等优点，因此在各种制冷装置中得到较广泛应用。一般在(120—800)x105kJ＼h容量范围内的制冷装置中用该机具有较好的技术经济指标。


2、吸收式制冷装置
吸收式制冷装置利用热能制冷。常见的有氨—水吸收式制冷装置和水—溴化锂水溶液吸收式制冷装置。前者适用于低温冷冻；后者适用于空调供冷，制取4℃以上空调或工艺用冷水。溴化锂吸收式制冷中水为工质，溴化锂水溶液为吸收剂。它的优点如下。


对蒸汽热源的压力有较大的适应能力，当蒸汽压力为0.02—0.1MPa时，可采用单溴化锂吸收式制冷机，当蒸汽压力为6.0—1.0MPa时，可采用双效溴化锂制冷机。


其次设备简单，基本上是热交换器的组合体，*制造，除小功率的屏蔽泵、真空泵外，无运动部件，因此振动小、运转平稳；设备在真空下工作，工质无嗅、无毒、对人无害，使用安全，操作管理简单；*实现设备操作自动化，制冷能力可在10％～100％范围内自动调节；对冷却水的水温适应性强，即使达到37～38℃，设备仍能正常运转；节省电能，单机制冷量相同条件下，溴化锂制冷机的耗电量仅为压缩式制冷机的5％左右，这对于供电紧张而热源较充足的地区是很适用的。但是，溴化锂吸收式制冷也有缺点和使用的局限性，主要是溴化锂水溶液在接触空气的情况下，对金属具有强烈腐蚀性，一旦遭到腐蚀，不仅影响传热效果，降低使用寿命，而且会引起设备损坏，所以要求设备必须严格密封，在运行管理上也需十分注意。


3、蒸汽喷射式制冷装置
蒸汽喷射式制冷装置也是利用热能进行制冷的一种设备，以水为制冷剂，以蒸汽为制冷动力。蒸汽的压力要求0.2—0.8MPa，其主要优点有：设备在真空下工作，除泵以外，无转动件；制冷剂为水，对人无害，使用安全，操作简单；设备简单，*制造，一般机械工厂或机修车间都可加工制造；设备一次投资小，而且可以安装在室外，节省土建费用；可利用工业企业中的废热或工业企业中的采暖锅炉，冬季供热采暖，夏季供汽制冷。


蒸汽喷射制冷的主要缺点是效率较低，设置**锅炉和利用小型采暖锅炉供汽是不经济的。冷冻水温在5℃以上时可以采用，在100℃以上时比较经济。其效率随冷冻水温度变化，冷冻水温度越低，消耗蒸汽量越大，效率越低。此外，冷却水量很大，单机制冷量相同条件下，蒸汽喷射式制冷机所需冷却水是为压缩式或溴化悝吸收式的1.5倍左右，这对于水源紧张的地区是不宜采用的。
热、湿处理方案
热、湿处理的过程包括加热、冷却、加湿和减湿。热、湿交换的介质有水、蒸汽、液体吸湿剂和制冷剂。热、湿交换的设备可分为直接接触式和表面式，其中直接接触式包括喷水室和蒸汽加湿器。表面式包括空气加热器，水冷式表面冷却器和直接蒸发式表面冷却器。


直接接触式热、湿交换设备的特点是，与空气进行热、湿交换的介质直接和被处理的空气接触，通常是将其喷淋到被处理的空气中去。例如，在喷水室中喷出不同温度的水，可以实现空气的加热、冷却、加湿和减湿等多种空气处理过程。利用蒸汽加湿器喷蒸汽，可以实现空气的等温加湿过程；利用喷淋设备喷淋液体吸湿剂，可以实现空气的各种减湿过程。


表面式热、湿交换设备的特点是，与空气进行热、、湿交换的介质不和空气直接接触，热、湿交换是通过处理设备的金属表面进行的。例如，在空气加热器中通人热水或蒸汽，可以实现空气的等湿加热过程；而在表面冷却器中通人冷冻水或制冷剂，可以实现空气的等湿冷却或减湿冷却(即干燥冷却)过程等。


必须指出，在电加热器和使用固体吸湿剂的空气处理设备中，没有上面提到的那些参与热、湿交换的介质，它们是利用电能加热空气或固体吸湿剂的物理、化学作用吸收空气中的水分。其作用原理与直接接触式和表面式热、湿交换设备有所不同。


常用的热、湿处理方案如下：


1、加热方案


利用空气加热器中通入热水或蒸汽，可以实现空气等湿加热过程，空气加热器通常用于空调系统的一次加热和二次加热，可以提供较大的供热量，并且比较经济。


利用电加热器是让电流通过电阻丝发热来加热空气。电加热器有加热均匀、热量稳定、效率高、结构紧凑和控制方便等优点。因此，在空调机组和小型空调系统中应用较广。在恒温精度要求较高的大型空调系统中和净化空调系统中，也经常在送风支管上使用电加热器来控制局部加热，这就是所谓的*三次加热或叫精加热。但是，采用电加热器要耗费较多的电能，所以在加热量要求较大的地方不宜采用。


2、加湿方案


利用普通的蒸汽喷管对空气进行加湿。普通的蒸汽喷管是由略粗于供汽管道的管子组成，上面开有若干直径为2—3mm的小孔。蒸汽在管网压力作用下，由这些小孔喷出，混到从蒸汽管周围流过的空气中去，使空气得到加湿。普通的蒸汽管虽然构造简单，*加工，但喷出的蒸汽往往夹带凝结水滴，影响加湿效果的控制。通常用于湿度要求不严格的系统中。


利用干式蒸汽加湿器对空气进行加湿。干式蒸汽加湿器就是在喷管外设一蒸汽保温外套，在保温外套内通人高压蒸汽，因而保证喷管外壁有较高的温度，不至于在管内产生凝结水。蒸汽再经过加湿器简体、导流箱、导流管和加湿器内的简体，最后干蒸汽经喷管喷出加湿周围的空气。通常用于大型空调系统中。


利用电加湿器中的电能产生蒸汽，不经管道的输送，而将蒸汽直接混到空气中去进行加湿。电加湿器根据工作原理不同，可分为电热式和电极式两种。电极加湿器结构紧凑，加湿量*控制，所以应用较多。其缺点是耗电量大，电极上易积垢和腐蚀。因此，宜用在小型空调系统中。目前整体式空调机组多采用电极式加湿器，并与压缩机、蒸发器、冷凝器、通风机等一起组装在一箱体内，使用方便。利用喷循环水的方法对空气进行加湿。在淋水室和淋水表冷段，都设有喷水泵，冬季喷池内的循环水，可以实现对空气的加湿。这种方法处理的风量较大，耗电量少，对湿度易于保证，是集中式空调系统中经常采用的加湿方法。


3、冷却干燥方案


在淋水室中利用低于空气露点温度的冷冻水对需要处理的空气直接进行喷淋，使其产生热、湿交换，可以实现对空气的冷却干燥处理。这是空调中应用较普遍的方法。




冷水表冷器处理空气有以下缺点：


对空气的处理过程不像淋水室那样具有多样性，只能实现减焓降湿(即湿式冷却)、减焓等湿(即干式冷却)和增焙升温的一部分(即加热)三种处理过程，需加湿时，还须另设加湿器，不易达到较严格的相对湿度要求，这是表冷器处理空气的较大缺点。


设备制造工艺复杂，不能现场加工，只能由专业工厂生产，现场组装；金属消耗量大，一般要消耗较多的有色金属；造价也较淋水室高，10000—160000m3／h八种规格的表冷器与三排淋水室的造价相比较，平均要高出30％以上。无除尘、去味作用。


为了消除上述缺点，增加热交换效率，也可采用带淋水的表冷器。


带淋水的表冷器，淋水仅作为加湿除尘用。其处理功能可以和淋水室相同，适用于要求采用闭式冷水系统，且相对湿度要求严格又不能用蒸汽加湿或用蒸汽加湿不合理时(例如无蒸汽源或不能全天供蒸汽)。利用直接蒸发式表冷器也可对空气进行处理，实现对空气的冷却干燥处理，这是小型空调机组昔遍采用的方法。


直接蒸发式由于采用制冷系统中的蒸发器作为空气冷却器，因此设备简单，体积小，占地面积小，初投资也较省；但冷媒的管路损失大，要求密封严格，故蒸发器与冷冻机距离不宜拉得很远，一般一台冷冻机的蒸发器供给一个送风系统，组成整体式机组。直接蒸发式表冷器不易调节，不易保持严格的相对湿度，一般用于相对湿度无严格要求的系统。


送风方案


普通的空调送风方式可分为集中式和局部式两种。另外，净化系统需要粗效、中效和高效过滤器，结合空调与净化的双重要求，净化空调系统可分为集中式净化空调系统和分散式净化空调系统。



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关于洁净间、无尘室以及无菌室的区别
今天周日，写点小概念，就是关于洁净间的，我们经常听到电子产业的工程兄弟说他们的无尘车间，也会听到做手术的医生谈无菌隔离室，那么他们之间有什么区别呢？
不管怎么样，首先有一点是可以肯定的，那就是不论是无尘车间，还是无菌车间，它们都属于洁净车间。这里先讲一讲洁净间的概念：

洁净间指：对其内部空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需要都进行控制的密闭性较好的空间。分为多种： 非单向流洁净间（以前常称为乱流型洁净间），单向流洁净间（单向流洁净间气流的特征是流线平行，以单一方向流动，并且在断截面上风速一致，有垂直单向流洁净间，水平单向流洁净间等）以及 矢量洁净间：在房间的侧上角送风，另一侧的下部设回风口，并按使用要求，组合，如单向流和非单向流组合在一起的混合流型，以在局部区域（单向流部分）实现高级别的洁净室。这里说一个概念：洁净环境是为生产工艺服务的，洁净室设计必须满足生产工艺的环境要求，但并非越高越好，在不影响生产工艺正常运行的前提下尽可能地降低参数要求，其面积、层高，温度、湿度，洁净度等应该该高则高，该低则低，控制净化面积，缩小高净化级别洁净区的范围，严格控制100级和更高级别单向流洁净区的面积，控制重点。好钢要用在刀刃上嘛。

关于无菌以及无菌室：细菌的直径一般在5微米以上，而洁净室内的空气过滤器能在0.5微米粒径下达到99.99%的效率，细菌一般是附着在尘埃上的，所以洁净室使用高效空气过滤器就能达到无菌的目的，同时部分无菌室通过使用紫外灯发射紫外线照射30分钟以上措施来加强杀菌效果。一般来说，无菌室的标准是百级标准，即洁净区平板杂菌数平均不得**过1个菌落。无菌室一般面积较小，5平方米左右、同时室内标高在2.5-2.8米左右。无菌室较难的控制要求是如何保持无菌状态，所以控菌能力和控菌稳定性是无菌室的核心指标。一方面是彻底灭菌，另一方面防止污染，是无菌技术的两个方面。 还要防止所研究的微生物，特别是致病微生物或经过基因工程改造了的本来自然界不存在的微生物从我们的实验容器中逃逸到外界环境中去。当前无菌室多存在于微生物工厂，一般实验室则使用**净台。**净台其主要功能是利用空气层流装置排除工作台面上部包括微生物在内的各种微小尘埃。通过电动装置使空气通过高效过滤器具后进入工作台面，使台面始终保持在流动无菌空气控制之下。

关于无尘以及无尘室：无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非**没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。无尘室是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害气体、细菌等污染物排除，并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音及照明、静电控制在某一需求范围内所特别设计的房间。
洁净技术在近20年发展*，各种规模、不同等级的洁净间各种行业应用越来越广泛，特别是在电子、精密机械、航天、食品、化妆品、医疗、生物制药等行业发挥着日益重要的作用，为提高产品质量、开发高新产品做出了重要贡献。而所谓的无尘室、无菌室他们在英文都是Clean Room，都只是洁净间。只不过因为应用行业不同，侧重点不同而已。当然，也正因为应用的侧重点不同，对于洁净间内设计的细节还是有差异的。需要各位在设计建造之初就特别注意。比如防静电在电子行业就很重要，而紫外灯灭菌在制药企业就比较常见。

其实，洁净技术其实并不难，难是是日常使用与维护维持。如果设计正确、合理，施工建造质量高，但在运行维护管理中不科学、不严格、必将使洁净间的空气洁净度逐渐下降，造成实际生产环境中的多项指标偏离规定要求，从而产品质量下降，甚至不合格。这部分需要全体人员的共同维护呢。

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一、什么是无尘车间
无尘车间是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。无尘车间也叫洁净厂房、无尘室。其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。根据国人的语言表达习惯无尘车间也叫净化车间、洁净车间、洁净间、洁净室、洁净房、净化厂房、无尘厂房等。净化车间根据区域环境、净化程度等因素，为若干等级。


二、哪些行业需要无尘车间
1、精密生产企业或制造业：电子厂、膜片生产厂、仪表仪生产厂、精密机械厂、油墨印染印刷厂等。
2、食品、化妆品、饮品饮料、化工原材料行业。
3、保健品、生物制药、医疗器材、医疗院等行业。主要采用生物净化工程或称生物洁净室工程，该类空气净化工程因为要经过GMP强制认证，所以我们也称GMP净化工程。


三、怎样设计规化无尘车间
动线规划要点:要检讨分析人车路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业的流程等，尽量缩短动线，并避免交叉，以防止交叉污染。作业者、化学药品、材料等动线勿集中;无尘车间四周，宜设缓冲区;制造装置的出入，不要对作业产生大影响。

无尘车间人员流动图
有些空气净化系统的空气，如经处理仍不能避免交叉污染时，则不能循环使用:固体物料的粉碎、称重、配料、混合、制料、压片、包衣、灌装等工序;用**溶媒精制的原料药精制、干燥工序;放射性药品生产区;病原体操作区;工艺过程中产生大量有害物质、挥发气体的生产工序;固体口服制剂的颗粒。

无尘车间空气流通原理图


四、无尘车间安装与使用
1.装配式洁净厂房的全部维修构件在工厂内按统一模数及系列加工完成，适于批量生产，质量稳定，供货*;
2.机动灵活，即适合在新建厂房配套安装，也适宜老厂房的净化技术改造。维修结构也可随工艺要求任意组合，拆卸方便;
3.需要辅助建筑面积较小，对土建筑装修要求低;


五、无尘车间的主要组成部分
无尘车间的构成是由下列各项系统所组成（在所组成的系统分子中是缺一不可的），否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室。

无尘车间平面布局图
1、围房构建，即组成洁净室的密封性空间。
1)天花板系统：包括吊杆（Ceilingrod）、纲梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceilinggrid或Ceilingframe）。
2)隔墙板（Partitionalwall）：包括窗户、门。
3)地板：包括高架地板、防静电板、环氧自流坪、PVC净化地板等。
4)室内室内通道辅件：包括风淋室、更衣室、传递窗等
2、空气调节净化系统，包括：
1)净化机组、
2)过滤器系统
3)管道系统:风管、水管、铜管等
3、智能控制部份，包括：
1)照明与照明控制
2)智能与远程控制系统


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洁净无尘室之定义
(一)洁净室之定义 （供大家参考）洁净室(CleanRoom)，亦称为无尘室或清净室。「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室较主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。
(二)洁净室之等级**均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多，以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。 209E与209D等较大之不同在于209E表示单位增加了公制单位，洁净室等级以‵M′字头表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此行推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5(m之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5….表示。美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英呎为单位，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位，以0.1(m微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，较好的等级为Class 1，较差则为Class 8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。
(三)洁净室控管之项目 1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。 2. 能防止微尘粒子之产生。 3. 温度和湿度之控制。 4. 压力之调节。 5. 有害气体之排除。 6. 结构物与隔间之气密性。 7. 静电之防制。 8. 电磁干扰预防。 9. 安全因素之考虑。 10. 节能之考量。
(四)洁净室之分类 1.乱流式(TurbulentFlow)：空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较*，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。 2.层流式(Laminar)：层流式空气气流运动成一均匀之直线形，空气由覆盖率**之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种： (1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。 (2)垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。优点：管理*，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。 3.复合式(Mixed Type)：复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部**洁净之空气。 (1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域**覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充*； B.维修设备时可在维修区轻易执行。 (2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为较适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。 (3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。 洁净工作台：等级Class 1~100级。洁净工作棚：为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，覆盖面积约10M2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。
(五)洁净室气流之流动洁净室的洁净度往往受到气流的影响，换言之，即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。 洁净室系利用HEPA、ULPA过滤空气，其尘埃的收集率达99.97~99.99995%之多，因此经过此过滤器过滤的空气可说十分干净。然而洁净室内除了人以外，尚**器等之发尘源，这些发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃*排出室外。 洁净室内的气流是左右净室性能的重要因素，一般洁净室的气流速度是选在0.25~0.5m/s之间，此气流速度属微风区域，易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一扰乱之影响而保持洁净度、但因风速的提高，将影响运转成本的增加，所以应在满足要求的洁净度水准之时，能以较适当的风速供应，以达到适当的风速供应以达到经济性效果。 另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果，均一气流之保持亦为一重要因素，均一气流若无法保持，表示风速有异，特别是在壁面，气流会延着壁面发生涡流作用，此时要实现高洁净度事实上很困难。 垂直层流式方向要保持均一气流必须：(a)吹出面的风速不可有速度上的差异；(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s，0.7m/s)均有涡流之现象发生，而0.5m/s之速度，气流则较均一，目**般洁净室，其风速均取在0.25~0.5m/s之间。影响洁净室的气流因素很多，如制程设备、人员、洁净室组装材、照明器具等，同时对于生产设备上方气流的分流点，亦应列入考虑因素。 一般操作台或生产设备等表面的气流分流点，应设于洁净室空间与隔墙板间距2/3之处，如此可使作业人员工作时，气流可从制程区内部流向作业区，而将微尘带走；若分流点配置在制程区前方，将成为不当的气流分流，此时大部份的气流将流至制程区之后，作业员操作所引起的尘埃将被带到设备后面，工作台因而将受到污染，良率也势必降低。 洁净室内的工作桌等障碍物，在相接处均会有涡流现象发生，相对地在其附近之洁净度将会较差，在工作桌面钻上回风孔，将歹使涡流现象减少较低；组装材料之选择是否恰当、设备怖局是否完善，亦为气流是否成为涡流现象之重要因素。
(六)洁净室之构成洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的)，否则将无法构成一完整且品质良好的洁净室： (1)天花板系统：包括吊杆(Ceiling rod)、纲梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。 (2)空调系统：包括空气舱、过滤器系统、风车等。 (3)隔墙板(Partitional wall)：包括窗户、门。 (4)地板：包括高架地板或防静电舒美地板。 (5)照明器具：包括日光灯、黄色灯管等。洁净室之建筑主体构造，一般是用钢筋或骨水泥，但无论是何种构造，必须满足如下之条件：A.不会因温度变化与振动而发生裂痕；B.不易产生微尘粒子，且很难附着粒子；C.吸湿性小；D.为了维持室内之湿度条件，热绝缘性要高。
无尘净化车间主要安装有那些净化设备
无尘净化车间主要安装有那些净化设备？
**，无尘净化车间进风系统要安装，新风过滤箱，中央净化空调（中央净化空调要分为初效/中效/高效三个过滤段）末端有高效送风口。有必要时还装有净化增压箱。
*二，无尘净化车间回风系统要安装，回风口，过滤初效器，中效回风箱。
*三，进入无尘净化车间之前先进入缓冲区，缓冲区门安装电子互锁，更衣处放置洁净储衣柜，空气 清新机。
*四，人和货物进入无尘净化车间须经过，风淋室，货淋室，传递窗主要传递小物品。
*五，在无尘净化车间内局部需要达到10-1000级地方安装垂直层流工作台，层流罩（FFU），洁净棚（可移式净化工作棚），自净器。
*六，测试洁净室洁净度用，激光尘埃粒子计数器。